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  • 异质异构集成平台
  • 化合物平台

    平台已发布了GaAs多结阵列VCSEL、硅透镜、GaAs集成无源器件等五大类别20余款PDK,可支持面向消费电子、工业及车载等领域高速光通信芯片、高功率激光器等产品的中试及小批量生产

  • 硅光平台

    为各类创新主体提供化合物相关的单步工艺代工:光刻工艺代工、金属薄膜工艺代工、介质薄膜工艺代工、蚀刻工艺代工、化学工艺代工、减薄工艺代工、激光划片代工。

  • 异质异构集成平台

    建设基于国产设备的自主可控的异质+异构集成工艺服务平台,开发集成技术,形成化合物光子芯片、硅光芯片、集成电路芯片的混合集成代工平台。

加速客户产品创新
助力光子产业发展

  • 100+

    研发、中试服务企业百余家

  • 400+

    开发芯片工艺四百余项

  • 10+

    承担省部级研发项目10余项

  • 30+

    拥有专利30余项

陕西光电子先导院科技有限公司(简称“光电子先导院”)是陕西省首个国家级制造业中试平台,2015年10月由中国科学院西安光机所联合陕西省科技厅、西安市高新区管委会等单位联合发起,涵盖工艺研发、中试验证、质量检测、产学研联合创新等光电子集成全链条中试平台和多元服务的综合性产业服务体。

为打造形成“化合物半导体+硅光+异质集成+异构集成”的光电子集成产业中试平台,助力光子产业发展,光电子先导院规划了“四步走”的发展战略:从4-6英寸光电芯片公共服务平台,到6英寸先进光子器件工程创新平台,8英寸先进硅光集成技术平台,再到异质异构集成工艺服务平台,最终形成国内领先的“化合物半导体+硅光+异质集成+异构集成”的光电子集成产业中试平台。在不断迭代中前行,面向前沿技术、面向产业需求,面向创新主体,保持平台的先进性和拓展性,是先导院长期发展和运行的主线。

历经10年“追光”,光电子先导院累计已投15亿元,配备百级到万级洁净厂房4000 平方米,拥有光电集成产业关键工艺设备170 余台(套),配套设施450 余台(套),已建成6 英寸化合物光电芯片、8 英寸硅光芯片为双主平台,同步开发磷化铟探测器、砷化镓射频器件、硅透镜等N个特色工艺平台,形成“1+N”柔性中试线,覆盖核心制程与细分场景的定制化中试能力。其中6英寸化合物光电芯片中试平台自2023年通线以来,已发布了20余款工艺PDK;8英寸硅光平台已于2025年10月正式通线,并成功发布首款无源PDK,成为西北地区首条硅光中试线。

光电子先导院为推动我国光电子产业加快发展、实现高水平科技自立自强作出的突出贡献,得到了产业界,学术界和国家部委的高度肯定,被授予国家级专业共性技术平台以及双创平台、陕西省光子产业链“链主”单位等荣誉和资质。

未来,光电子先导院将陆续扩展能力,积极筹建异质异构集成平台和CPO光电共封装平台,预计到2028 年将建成国内领先的“化合物半导体+硅光+异构集成+异质集成”光电子集成产业中试平台,为光子产业延链补链强链提供有力支撑。