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第一代半导体——硅的“逆天改命”之旅

29 2023/11
2023/11/29
半导体、芯片、硅
半导体,这个看似寻常,实则含义深远的词,自其诞生以来,就对人类社会产生了深远影响。

硅,本是平凡的沙砾,浴火重生后,推动了电子工业、通信等领域的飞速发展,而且深刻改变了我们的生活。

今天,让我们一起探索以硅为代表的第一代半导体的起源,见证其从沙砾“逆天改命”的制造之旅,以及全球半导体硅片的市场概况及竞争格局。


第一代半导体的起源


我们身边的材料可以根据导电性分为导体、绝缘体和半导体。金属、石墨、人体等具有良好的导电能力,被称为导体。橡胶、塑料、干木头等是不导电的,或者说导电能力极差,属于绝缘体。而导电能力介于导体与绝缘体之间的硅、锗等材料,就是半导体。

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半导体的起源可以追溯到19世纪,当时科学家们开始研究半导体材料,如锗、硅。但“半导体”这个名词大概到1911年才被考尼白格和维斯首次使用。


虽然半导体的四个基本物理特性——温度效应(电阻随温度的上升而下降)、光生伏特效应(光照下产生电压)、光电导效应(光照下电导增加)、整流效应(导电的方向性)在19世纪就被先后发现,但总结出半导体的这四个特性一直到1947年底才由位于美国新泽西州茉莉山的贝尔实验室完成。


1945年秋,贝尔实验室成立了以威廉·肖克利为首的半导体研究小组;1947年12月,小组研制出了点接触型的锗晶体管;1950年,第一只“PN结型晶体管”问世,其性能与贝尔实验室半导体研究小组设计的完全一致,小组成员因此于1956年获得了诺贝尔物理学奖。


(威廉·肖克利)


晶体管是20世纪的一项重大发明,是微电子革命的先声,也是今天一切智能电子产品的基础单元,广泛应用于手机、电视、计算机、可穿戴设备等。晶体管集成数量和密度是决定一款芯片性能强弱的关键指标之一。比如,苹果11系列手机搭载的A13芯片,拥有85亿个晶体管;仅时隔4年,苹果15 Pro 手机搭载的A17 Pro芯片,晶体管数量已经达到190亿个。


晶体管可以简单地理解为一种微型的开关,通过不同的组合设计,具有整流、放大、开关、稳压等功能。与普通机械开关不同,晶体管利用电信号来控制自身的开合,开关速度非常快,实验室中的切换频率最高可达到每秒1000亿次以上。


虽然世界上第一支晶体管的材料是锗,且直到20世纪60年代之前锗在半导体中还占主要地位。但由于锗是稀有金属,成本高,并且容易受高温和辐射的影响,于是,寻求新的材料成为半导体发展降低成本、提高性能的需求。


1954年,德州仪器的研究员戈登·蒂尔研制出了第一个商用的硅晶体管。该硅晶体管具有与锗晶体管相同的工作原理,但它可以承受高温。不过这时的硅管还要比锗管贵得多。


1959年,仙童半导体“八叛徒”之一的诺伊斯(英特尔公司创始人),首次在硅片上制作出集成电路,开启了电子工业的硅时代。


(左至右:摩尔、罗伯茨、克莱尔、诺伊斯、格里尼克、布兰克、赫尔尼和拉斯特)


直到20世纪60年代后期,硅材料逐渐取代了锗,并一直“活跃”至今。以硅材料为代表的第一代半导体,取代了笨重的真空电子管,导致了以集成电路为核心的微电子工业的发展和整个IT 产业的飞跃。目前,全球超过90%的芯片及器件均由硅材料制成,包括最常见的 CPU、GPU、其他逻辑及存储芯片等。


沙砾到硅片的“逆袭之旅” 


集成电路芯片制造材料多达数百种,按类别划分主要包括硅片、光掩膜、光刻胶及配套试剂、电子气体、工艺化学品、溅射靶材、抛光材料等,总体采购中硅片占比始终最高。如下图:


(2015-2021年全球集成电路芯片制造材料分类占比)


根据国际半导体产业协会(SEMI)数据,2021年硅片在集成电路芯片制造材料中的采购金额占比达到33%左右,是最主要的关键功能材料,100多亿美元的半导体硅片支撑了5000多亿美元的半导体产业规模。


作为半导体制造的核心材料之一,硅片的出身其实是不起眼的沙砾。硅片制造流程繁复,平凡的沙砾想要“逆天改命”成为硅片,大致需要如下三步的蜕变:


第一步——纯化


硅在地壳中占比约27%,是除了氧元素之外第二丰富的元素。硅元素以二氧化硅和硅酸盐的形式大量存在于沙子、岩石、矿物中,储量丰富并且易于取得。


通常将95-99%纯度的硅称为工业硅。沙子、矿石中的二氧化硅经过纯化,可制成纯度98%以上的冶金级硅;高纯度硅经过进一步提纯变为纯度达 99.9999999%至99.999999999%(9-11个9)的超纯多晶硅,即电子级多晶硅。

(硅片制备流程)


第二步——拉晶


单晶生长是抛光片生产中最核心的一环工序,决定了硅片的质量和纯度,其技术主要分为直拉法(CZ)和区熔法(FZ)。在集成电路工业中使用的硅片几乎都是采用直拉法生产的。


直拉法加工工艺:将超纯多晶硅在石英坩埚中熔化,并掺入硼(B)、磷(P)等元素改变其导电能力,放入籽晶确定晶向,经过单晶生长,制成具有特定电性功能的单晶硅锭。


第三步——切割


单晶硅锭经过切片、研磨、抛光、清洗等工艺步骤,便制造成为半导体硅片。


半导体硅片的尺寸(以直径计算)主要有50mm(2 英寸)、75mm(3 英寸)、100mm(4英寸)、150mm(6 英寸)、200mm(8英寸)与 300mm(12 英寸) 等规格。在摩尔定律的影响下,半导体硅片正在不断向大尺寸的方向发展。


(数据来源:《芯片制造》)


硅片尺寸越大,在单片硅片上制造的芯片数量就越多,单位芯片的成本随之降低。例如,在同样的工艺条件下,300mm半导体硅片的可使用面积超过 200mm半导体硅片的两倍以上,可使用率(衡量单位晶圆可生产的芯片数量的指标)是200mm半导体硅片的2.5倍左右。

一般来讲,300mm硅片主要应用于90nm及以下半导体制程范围,用于制造逻辑电路、存储器等高集成度的芯片,多在大计算量、大存储量或便携式终端上应用,如智能手机、计算机、人工智能等领域。

200mm硅片主要应用于90nm以上制程范围的模拟电路、功率芯片、互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器、微控制器、射频前端芯片等,应用场景包括微机电系统、电源管理、汽车电子、物联网等领域(见下表)。


(8、12英寸硅片在不同制程的应用情况)


向大尺寸方向发展是半导体硅片行业最基本的发展趋势。目前,全球半导体硅片市场最主流的产品规格为300mm硅片和200mm硅片,300mm硅片占比持续上升。


“前五大”市占率超90%


长期以来,半导体行业呈现周期性波动上涨的趋势。根据SEMI 统计,2016 年至2022年间,全球半导体硅片(不含SOI)销售额从72.09亿美元上升至138亿美元,年均复合增长率达11.47%。


(数据来源:SEMI)


需求结构方面,近10年来,6英寸及以下尺寸硅片需求基本保持稳定,全球半导体硅片新增需求主要集中在8英寸和12英寸硅片,这两种尺寸硅片的市场份额合计占比约为90%。尤其是12英寸硅片增速最快,市场份额占比接近70%。(见下图)。


(数据来源:SEMI)


市场竞争方面,全球硅片市场主要由境外厂商占据,市场集中度较高,龙头硅片厂商垄断全球90%以上的市场份额,排名前五的厂商分别为日本信越化学(Shin-Etsu)、日本胜高(SUMCO)、中国台湾环球晶圆(Global Wafers)、德国世创(Siltronic)、韩国鲜京矽特隆(SK Siltron)。



(数据来源:Omdia)


我国半导体硅片市场规模是全球半导体硅片市场的重要组成部分,在全球半导体硅片市场中占比呈增长趋势。目前,国内各硅片厂商加速布局8英寸及 12英寸大硅片项目,拥有12英寸硅片生产能力的公司主要包括沪硅产业(688126.SH)、立昂微(605358.SH)、TCL 中环(002129.SZ)、 奕斯伟、中欣晶圆等。


半导体硅片的下游是芯片制造企业,包括大型综合晶圆代工企业及专注于存储器制造、传感器制造与射频芯片制造等领域的芯片制造企业。半导体硅片的终端应用领域涵盖智能手机、便携式设备、物联网、汽车电子、人工智能、工业电子、军事、航空航天等众多行业。随着科学技术的不断发展,新兴终端市场还将不断涌现。


尽管以硅为代表的第一代半导体作为科技进步的重要里程碑,深刻地改变了我们的生活。但随着科技的进步,对新一代半导体的需求也在不断增加。下期,小编将跟大家一起学习第二代半导体材料——砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)。敬请期待!



参考资料:《半导体物理与器件》(Donald A. Neamen)、《芯片制造——半导体工艺制程实用教程》(Peter Van Zant)、《微电子制造科学原理与工程技术》(Stephen A. Campbell)、中国工程院院刊《中国工程科学》、上市公司公告、招股说明书。