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晶圆代工解决方案

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晶圆测试

晶圆测试

台阶仪

用于2-6英寸wafer,厚度<20mm

1、垂直方向分辨率:1Å

2、横向分辨率: 100nm

3、台阶重复性: 0.1μm台阶高度上的5Å,1sigma

外延片表面缺陷测试仪

光学模组:物镜5X,10X,20X

半自动平台:行程:200mm X and Y

静态重复性:小于3%

A-Step膜厚段差测量仪

扫描长度:≥55mm 

单次扫描最大数据点:60,000个  

样品台:150mm

探针压力范围:1-15mg(0.03mg选配)

X-Y行程范围:≧100mm

Stylus尖端尺寸:2.5μm

测量重复性:1σ < 0.1um

垂直范围量程:600μm 

6寸向下兼容

PL荧光光谱量测系统

晶片尺寸:2、4、6英寸

最小标测分辨率:2英寸>0.5mm,4英寸>1mm,6英寸>2mm

PW, FWHM, dip of DBR重复性精度:<±0.5nm

峰值强度、积分强度、绝对反射率倾角:< ±5%

EL量测试系统

测试电流If范围:100pA~1A  

测试精度:(1%+2counts)

顺向电压VF量程:0.1mV~20V 

测试精度:(0.1%+2counts)

峰值波长量程:从380nm~780nm  

测试精度:0.5nm (对标准光源元素特征波长)

发光强度量程:1~30,000 mcd   

量测精度:4% (对标准光源)ll 色坐标(x,y)

量程: 0.000~1.0000  量测重复性±0.003 (对标准光源)

XRD(X光衍射仪)

X射线管高度可调6mm

载片台调节:十:100+/-0.01mm  Y:100+/-0.01mm  Z:10+/-0.01mm

功率因数:720+/-0.01Psi:180+/-0.01

角度重现性:±0.0001度

扫描方式:θ/θ扫描方式

探测器:X'Celerator 

超能探测器、充Xe正比探测器

颗粒仪(自动光学检查系统)

含×5,×10,×20三组物镜(可配×50,×100物镜)

白光LED照明,可明、暗视场转换操作,自动对焦

单个像素尺寸:4.54μm

成像尺寸:2752×2200像素                 

可测试50mm-200mm范围内硅片

可分辨外延层表面200nm-1μm尺寸的缺陷

场发射电子枪SEM

放大倍率:15X-800000X

加速电压:0-30KV

电子枪:肖特基场发射电子枪

样品台行程:X:0-100mm,Y:0-100mm,Z:0-50mm,R:360°连续,T:-5°-﹢70°

分辨率(二次电子30KV):1nm

分辨率(二次电子1KV):3nm

分辨率(背散射电子30KV):2.5nm

四探针测试仪

电阻率:10-5~105 Ω.cm

方块电阻:10-4~106 Ω

电导率:10-5~105s/cm

电阻:10-5~105 Ω

数字电压表:分辨率10μV

精度:±0.1% 

椭偏仪

光谱范围:250 nm-1650nm

入射角:45º-90º 

样品厚度:< 8mm

样品直径:最大200mm

光斑直径:<5mm

膜厚测量范围:1nm-20um

折射率精度:0.0005

膜厚测量精度:小于0.9nm(基于标准片)

光谱分辨率:小于2nm

计数机

100mm*100mm视场:

不透明晶粒,最小可识别晶粒5*5mil

半透明晶粒,5*5mil

透明晶粒:最小可识别电极尺寸为 Φ80um   

晶粒间距:支持最小1.1倍扩膜后间距

最大计数误差:不透明 ≦ ±0.01%

透明晶粒/半透明晶粒:≦±0.03%

膜厚测试仪

光谱范围:370-1000nm

光谱分辨率:200–1000nm:1.6 nm,900–1700nm:3.2nm

样品大小:12寸向下兼容

膜厚测量范围(仅测膜厚时):15 nm – 100um

膜厚测量重复性:0.1nm

准确度:2nm 或 0.4%

LED点测机

卡盘均匀性:0.01 mm重复性X、Y、Z

轴:2μm电压

测量范围:0-200电流V电流

测量范围:0-1A

光谱仪波长范围:350-1050nm

亮度测量范围:0.00-65000 mcd

电压最佳分辨率:5uVBest

精度:0.02%电流最佳

分辨率:10pA

最佳精度:0.035%

光谱仪分辨率:0.3nm

重复性:0.4nm

亮度测量范围:0.00-65000

mcd重复性:3%

薄膜应力仪

激光波长:635nm/ 5mW

应力量程:1-5000 Mpa

量程内最大扫描点数:Max. 1万个点

最小扫描步长:0.1 mm

重复性:<1%(曲率半径小于20m时),3%(曲率半径小于100m时)